[发明专利]固态成像元件、制造方法和电子设备

摘要

本公开涉及可通过减少像质劣化实现较高的像质的固态成像装置、制造固态成像装置的方法和电子设备。固态成像装置包括半导体基板，其具有针对各像素形成的光电二极管，光电二极管进行光电转换；滤色片，其使颜色与各像素对应的光通过，滤色片叠置在半导体基板的光入射面侧上；和遮光膜，其设置在各像素的滤色片之间，遮光膜是通过叠置第一遮光膜和第二遮光膜形成的，第一遮光膜和第二遮光膜是用两种彼此不同的材料形成的。第一遮光膜是用具有遮光效果的金属形成的，且第二遮光膜是用具有光敏性的树脂形成的。本技术可应用于例如背照式CMOS图像传感器。

主权项

一种固态成像装置，包括：半导体基板，其具有针对各像素形成的光电二极管，所述光电二极管进行光电转换；滤色片，其配置成使颜色与所述各像素对应的光通过，所述滤色片叠置在所述半导体基板的光入射面侧上；和遮光膜，其设置在所述各像素的所述滤色片之间，所述遮光膜是通过叠置第一遮光膜和第二遮光膜形成的，所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用两种彼此不同的材料形成的。