[发明专利]固态成像元件、制造方法和电子设备

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

半导体基板，其具有针对各像素形成的光电二极管，所述光电二极管进行光电转换；

滤色片，其配置成使颜色与所述各像素对应的光通过，所述滤色片叠置在所述半导体基板的光入射面侧上；和

遮光膜，其设置在所述各像素的所述滤色片之间，所述遮光膜是通过叠置第一遮光膜和第二遮光膜形成的，所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用两种彼此不同的材料形成的。

2.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中

所述第一遮光膜叠置在比所述第二遮光膜更靠近所述半导体基板的那侧上，

所述第一遮光膜是用具有遮光效果的金属形成的，且

所述第二遮光膜是用具有光敏性的树脂形成的。

3.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中

所述像素中的一些是要用于根据所述固态成像装置的成像表面中的相位差来控制自动聚焦的自动聚焦像素，且

所述第一遮光膜和所述第二遮光膜形成在所述自动聚焦像素上，以使所述自动聚焦像素遮光以进行光瞳分割。

4.根据权利要求3所述的固态成像装置，其中，在所述自动聚焦像素中，用透明材料填充与其它像素中的所述滤色片相当的部分。

5.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中所述第二遮光膜在所述像素当中的红色像素上具有不超过预定厚度的厚度以覆盖所述红色像素的所述滤色片，所述红色像素接收红色的光。

6.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中选择红色、蓝色、绿色、青色、品红色、黄色、透明和灰色当中的至少两种颜色并用于针对所述各像素设置的所述滤色片。

7.根据权利要求1所述的固态成像装置，其中在所述半导体基板中形成像素分离部，所述像素分离部具有用以将所述像素中的相邻像素的所述光电二极管彼此分开的绝缘性质。

8.一种制造固态成像装置的方法，包括以下步骤：

针对各像素在半导体基板中形成光电二极管，所述光电二极管进行光电转换；

在所述半导体基板的光入射面侧上叠置滤色片，所述滤色片使颜色与所述各像素对应的光通过；以及

在所述各像素的所述滤色片之间设置遮光膜，所述遮光膜是通过叠置第一遮光膜和第二遮光膜形成的，所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用两种彼此不同的材料形成的。

9.一种电子设备，包括：

固态成像装置，其包括：

半导体基板，其具有针对各像素形成的光电二极管，所述光电二极管进行光电转换；

滤色片，其配置成使颜色与所述各像素对应的光通过，所述滤色片叠置在所述半导体基板的光入射面侧上；和

遮光膜，其设置在所述各像素的所述滤色片之间，所述遮光膜是通过叠置第一遮光膜和第二遮光膜形成的，所述第一遮光膜和所述第二遮光膜是用两种彼此不同的材料形成的。