[发明专利]接口块;用于使用这种接口块切割在波长范围内透明的衬底的系统和方法有效
申请号: | 201580049111.4 | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN107073641B | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | M·L·甘尼尔 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;B23K26/06;B23K26/067;B23K26/073;C03B33/02;B23K26/53;B23K26/0622 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 侯颖媖 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请描述了一种用于切割衬底(102)的系统,所述衬底在电磁光谱的预定波长范围内是透明的并且当从衬底板(102)中被提取时将包括边缘。所述系统通常包括:激光器(104),所述激光器能够发射光,所述光沿着光路并且具有在所述衬底(102)为透明的所述波长范围内的预定波长;光学设备(106),所述光学设备被定位在所述激光器的所述光路中;以及接口块(108),所述接口块由在电磁光谱中所述衬底(102)同样透明的所述预定波长范围的至少一部分上是透明的材料组成,其中,所述接口块(108)被定位在所述光路中并且位于所述衬底(102)与所述光学元件(108)之间。 | ||
搜索关键词: | 接口 用于 使用 这种 切割 波长 范围内 透明 衬底 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种用于切割衬底的系统,所述衬底在电磁光谱的预定波长范围内是透明的,所述衬底当从板中被提取时将包括边缘,所述系统包括:a.激光器,所述激光器能够发射光,所述光沿着光路并且具有在其中所述衬底为透明的所述波长范围内的预定波长;b.光学元件,所述光学元件被定位在所述激光器的所述光路中,从而使得所述激光器结合所述光学元件能够在所述衬底的至少一部分内生成诱导非线性吸收;以及c.接口块,所述接口块由其中所述衬底同样透明的所述电磁光谱中的预定波长范围的至少一部分上是透明的,其中,所述接口块被定位在所述光路中并且位于所述衬底与所述光学元件之间。
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