[发明专利]接口块；用于使用这种接口块切割在波长范围内透明的衬底的系统和方法

权利要求书

1.一种用于切割衬底的系统，所述衬底在电磁光谱的预定波长范围内是透明的，所述衬底当从板中被提取时将包括至少一个边缘，所述系统包括：

a.激光器，所述激光器能够发射光束，所述光束沿着光路并且具有在其中所述衬底为透明的所述波长范围内的预定波长；

b.光学设备，所述光学设备被定位在所述激光器的所述光路中；以及

c.接口块，所述接口块由其中所述衬底同样透明的所述电磁光谱中的预定波长范围的至少一部分上是透明的材料组成，其中，所述接口块被定位在所述光路中并且位于所述衬底与所述光学设备之间，所述接口块使所述光束在与所述至少一个边缘相邻的位置处有角度地与所述衬底相交并穿过所述衬底，其中，所述接口块包括形成在其中的凹肩，其中，所述凹肩被适配成用于在其中接纳所述衬底的边缘。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述接口块以直角平行六面体的形式成形。

3.根据权利要求1所述的系统，其中，所述接口块以三角平行六面体的形式成形。

4.根据权利要求1所述的系统，其中，所述接口块由梯度折射率材料组成。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述接口块是多个接口块中的一个，所述多个接口块中的每一个包括平面表面，所述平面表面定位在所述光路中并且关于所述衬底且相对于其它平面表面唯一地成角度。

6.根据权利要求5所述的系统，进一步包括计算机可编程控制器，所述计算机可编程控制器被适配成用于允许用户选择性地将所述多个接口块中的任何一个移动到与所述衬底并置。

7.根据权利要求5所述的系统，其中，所述多个接口块中的每一个被安装在旋转小齿轮上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的系统，进一步包括被布置在所述接口块的位于所述光路中的表面上的防反射涂层。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的系统，进一步包括被布置在所述接口块与所述衬底之间的边界处的折射率匹配流体。

10.一种在用于切割衬底的至少一个边缘的系统中使用的接口块，所述衬底在电磁光谱的预定波长范围内是透明的，所述接口块包括在其中所述衬底同样透明的所述电磁光谱的预定波长范围的至少一部分上透明的平行六面体形状的材料块，所述接口块使光束在与所述至少一个边缘相邻的位置处有角度地与所述衬底相交并穿过所述衬底，其中，所述接口块进一步包括形成在其中的凹肩，所述凹肩被适配成用于在其中接纳所述衬底的边缘。

11.根据权利要求10所述的接口块，其中，所述接口块以直角平行六面体的形式成形。

12.根据权利要求10所述的接口块，其中，所述接口块以三角平行六面体的形式成形。

13.根据权利要求10所述的接口块，其中，所述接口块由梯度折射率材料组成。

14.根据权利要求10至12中任一项所述的接口块，进一步包括被布置在所述接口块的位于光路中的表面上的防反射涂层。