[发明专利]有机锗胺化合物及用其沉积薄膜的方法

摘要

公开了权利要求1中所述的、由化学式1，即表示的有机锗胺化合物，和使用该化合物作为前体的膜形成方法。当根据本发明的化合物被用作前体时，能够有效地通过沉积形成氧化锗膜、氮化锗膜、金属锗氧化物膜、金属锗氮化物膜等等。

主权项

一种有机锗胺化合物，其由以下化学式1表示：<化学式1>其中，在所述化学式1中，L₁、L₂、L₃和L₄各自独立地选自氢原子、具有1至10个碳原子的烷基、具有6至12个碳原子的芳基、具有1至10个碳原子的烷基胺基、具有1至10个碳原子的二烷基胺基、具有6至12个碳原子的芳基胺基、具有7至13个碳原子的芳香胺基、具有3至10个碳原子的环胺基、具有3至10个碳原子的杂环胺基和具有2至10个碳原子的烷基甲硅烷基胺基。