[发明专利]有机锗胺化合物及用其沉积薄膜的方法在审
| 申请号： | 201580014038.7 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN106103456A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李根守;李伦英;李英敏 | 申请（专利权）人： | 株式会社Eugene科技材料 |
| 主分类号： | C07F7/30 | 分类号： | C07F7/30;C07C211/14;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京度衡知识产权代理有限公司 11601 | 代理人： | 杨黎峰;钟锦舜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 有机 化合物 沉积 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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