[发明专利]放射线敏感性树脂组合物及电子部件

摘要

本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其含有粘结剂树脂(A)、放射线敏感性化合物(B)、交联剂(C)、和由下述通式(1)表示的硅烷偶联剂(D)。(上述通式(1)中，R¹～R³各自独立地为碳原子数为1～5的1价烷基，R⁴为碳原子数为1～10的2价亚烷基，R⁵为氢原子或碳原子数为1～5的1价烷基，R⁶～R¹⁰为氢原子或碳原子数为1～5的1价烷基。)。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，含有：粘结剂树脂(A)、放射线敏感性化合物(B)、交联剂(C)、由下述通式(1)表示的硅烷偶联剂(D)、和酚醛树脂(E)，/n所述酚醛树脂(E)为苯酚-芳烷基树脂，/n /n上述通式(1)中，R¹～R³各自独立地为碳原子数为1～5的1价烷基，R⁴为碳原子数为1～10的2价亚烷基，R⁵为氢原子或碳原子数为1～5的1价烷基，R⁶～R¹⁰为氢原子或碳原子数为1～5的1价烷基。/n