[发明专利]放射线敏感性树脂组合物及电子部件有效
| 申请号： | 201580011556.3 | 申请日： | 2015-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN106062631B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 堤隆志 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/075 | 分类号： | G03F7/075;G03F7/004;G03F7/023 |
| 代理公司： | 11413 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 袁波;刘继富<国际申请>=PCT/JP2 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 电子 部件 | ||
【说明书】：
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