[发明专利]具有微分调制相位检测的干涉测定传感器

摘要

提供一种传感器，其具有：感测元件(8)，由此被测对象引起两个波之间的相对相移；相位调制器(5)，将调制添加到相对相移；至少两个检测器(10‑1，10‑2)，其中第一检测器(10‑1)响应于相对相移没有包含如由被测对象所引起的相对相移而检测干扰信号，并且其中第二检测器(10‑2)响应于相对相移包括如由被测对象所引起的相对相移而检测干扰信号；以及还包括信号处理单元(11)，其适合分析两个所检测干扰信号，并且从其中得出被测对象值。

主权项

1.一种干涉测定传感器，包括感测元件(8)，由此被测对象引起两个波之间的被测对象引起的相对相移，至少第一和第二检测器(10‑1，10‑2)，分离器元件(7)，其中所述分离器元件的第一输出分支转到所述第一检测器(10‑1)，并且所述分离器元件的第二输出分支经过所述感测元件(8)并且转到所述第二检测器(10‑2)上，其特征在于，所述传感器还包括相位调制器(5)，其引起对相对相移的调制，其中所述分离器元件位于所述相位调制器(5)与所述感测元件(8)之间，其中所述第一检测器(10‑1)响应于相对相移没有包含所述被测对象引起的相对相移而检测干扰信号，并且其中所述第二检测器(10‑2)响应于相对相移包含所述被测对象引起的相对相移而检测干扰信号，所述传感器还包括信号处理单元(11)，其适合从所检测干扰信号的每个来确定两个波之间的所述相对相移，并且使用表示它们的差的量来确定被测对象值，其中所述波是光波。