[发明专利]具有微分调制相位检测的干涉测定传感器

权利要求书

1.一种干涉测定传感器，包括

感测元件(8)，由此被测对象引起两个波之间的被测对象引起的相对相移，

至少第一和第二检测器(10-1，10-2)，

分离器元件(7)，其中所述分离器元件的第一输出分支转到所述第一检测器(10-1)，并且所述分离器元件的第二输出分支经过所述感测元件(8)并且转到所述第二检测器(10-2)上，

其特征在于，所述传感器还包括相位调制器(5)，其引起对相对相移的调制，

其中所述分离器元件位于所述相位调制器(5)与所述感测元件(8)之间，

其中所述第一检测器(10-1)响应于相对相移没有包含所述被测对象引起的相对相移而检测干扰信号，并且其中所述第二检测器(10-2)响应于相对相移包含所述被测对象引起的相对相移而检测干扰信号，

所述传感器还包括信号处理单元(11)，其适合从所检测干扰信号的每个来确定两个波之间的所述相对相移，并且使用表示它们的差的量来确定被测对象值，

其中所述波是光波。

2.如权利要求1所述的传感器，还包括组延迟偏置元件(20)，其用来控制在所述第一检测器(10-1)处和所述第二检测器(10-2)处所检测的波之间的相对组延迟。

3.如权利要求2所述的传感器，其中所述组延迟偏置元件(20)包括以双折射轴(4')的90°转变连接到其他段的偏振保持光纤(3)的至少一段。

4.如权利要求2所述的传感器，其中所述组延迟偏置元件(20)包括与所述相位调制器(5)相同的至少第二相位调制器(5')，其中所述两个调制器以双折射轴(4')的90°转变彼此连接。

5.如权利要求2所述的传感器，其中所述组延迟偏置元件(20)和所述相位调制器(5)处于共用壳体(21)中，或者是温度控制的。

6.如权利要求1所述的传感器，其中所述分离器元件(7)是块状光学分束器或者多分支光纤耦合器。

7.如权利要求1所述的传感器，其中所述信号处理单元(11)适合从所述干扰信号的任何来得出表示干扰对比度(IC)的值和所述相对相移。

8.如权利要求1所述的传感器，其中所述相位调制器(5)是电光相位调制器、集成光学相位调制器、Y类型调制器或压电光纤调制器。

9.如权利要求8所述的传感器，其中所述集成光学相位调制器是双折射调制器。

10.如权利要求1所述的传感器，其中所述相位调制器在闭合反馈环路中采用两个所检测干扰信号其中之一来控制，并且其中所述被测对象从另一所检测干扰信号来得出、通过所述闭合反馈环路的设置值来修改。

11.如权利要求1-10中任一项所述的传感器，其中所述光波是正交线性偏振光波或者左和右圆偏振光波。

12.如权利要求1-10中任一项所述的传感器，其中所述被测对象是电压或电场强度，并且所述感测元件内部的所述相对相移响应于施加在其的两个面之间的所述电压。

13.如权利要求1-10中任一项所述的传感器，其中所述感测元件包括电光晶体或电光纤或者光纤和压电材料。

14.如权利要求13所述的传感器，其中所述电光纤是结晶电光纤或极化电光纤。

15.如权利要求12所述的传感器，作为反射配置传感器，其中反射光学器件(30)沿相同路径经过所述感测元件返回所述波。

16.如权利要求13所述的传感器，作为反射配置传感器，其中反射光学器件(30)沿相同路径经过所述感测元件返回所述波。