[发明专利]XY工作台、对准装置及蒸镀装置

摘要

本发明的XY工作台具有底座(11)；框状的工作台(12，12)；和支撑驱动部(13，14，15，16)，位于底座(11)与工作台(12)之间，并将工作台(12)沿XY方向驱动。支撑驱动部(13，14，15，16)具备多个支撑部，所述支撑部具备直线状的第一导向部件，被配设在底座(11)上；第一板部件，被载置于第一导向部件并在工作台(12)的面内方向上能够沿第一引导方向移动，所述第一引导方向为第一导向部件所延伸的方向；第二导向部件，被载置于第一板部件上并沿第二引导方向延伸，所述第二引导方向为工作台(12)的与第一引导方向正交的面内方向；和第二连接部，被载置于第二导向部件并被固定设置成与工作台(12)一体，从而能够沿第二引导方向移动。在多个支撑部中，一对第一支撑部(13，14)以在作为第一导向方向的X方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部，一对第二支撑部(15，16)以在作为第一导向方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于工作台(12)的边缘部。支撑驱动部(13，14，15，16)具备驱动装置(13f，15f)，该驱动装置(13f，15f)被设置于一对第一支撑部(13，14)中的至少一个支撑部以及一对第二支撑部(15，16)中的至少一个支撑部，驱动装置(13f，15f)与第一板部件和第二板部件连接，并能将第一板部件和第二板部件沿第二引导方向相对驱动。

主权项

一种XY工作台，具有：底座；框状的工作台；和支撑驱动部，位于所述底座与所述工作台之间，并将所述工作台沿XY方向驱动，所述支撑驱动部具备多个支撑部，所述支撑部具有：直线状的第一导向部件，被配设在所述底座上；第一板部件，被载置于所述第一导向部件并在所述工作台的面内方向上能够沿第一引导方向移动，所述第一引导方向为所述第一导向部件所延伸的方向；第二导向部件，被载置于所述第一板部件并沿第二引导方向延伸，所述第二引导方向为所述工作台的与所述第一引导方向正交的面内方向；和第二连接部，被载置于所述第二导向部件并被固定设置为与所述工作台一体，所述第二连接部能够沿所述第二引导方向移动，在所述多个支撑部中，一对第一支撑部以在作为所述第一引导方向的X方向上相对的方式放置并被设置于所述工作台的边缘部，一对第二支撑部以在作为所述第二引导方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于所述工作台的边缘部，所述支撑驱动部均设置在所述工作台中的相对的边缘部上的中央位置上，所述支撑驱动部具备驱动装置，所述驱动装置被设置于一对所述第一支撑部中的至少一个支撑部以及一对所述第二支撑部中的至少一个支撑部，所述驱动装置与所述第一板部件和所述第二连接部连接，并能将所述第一板部件和所述第二连接部沿所述第二引导方向相对驱动，所述第一支撑部中的所述驱动装置具有：轴承，被设置于所述第一板部件的所述Y方向两端；驱动螺杆部，架设并螺合于这些轴承；螺母部，在所述轴承及所述轴承之间被螺合到所述驱动螺杆部；和电动机，用于旋转驱动所述驱动螺杆部，所述螺母部被固定设置为与所述工作台一体且能沿所述第二引导方向移动，所述第二支撑部中的所述驱动装置与所述第一支撑部中的所述驱动装置的配置方向彼此正交，且结构大致相同，并且以相同的高度被配置在所述底座上，在这些驱动装置中，均通过所述电动机使所述驱动螺杆部转动规定量，从而使所述螺母部能够在所述驱动螺杆部的轴线方向上移动。