[发明专利]XY工作台、对准装置及蒸镀装置

权利要求书

1.一种XY工作台，具有：

底座；

框状的工作台；和

支撑驱动部，位于所述底座与所述工作台之间，并将所述工作台沿XY方向驱动，

所述支撑驱动部具备多个支撑部，

所述支撑部具有：直线状的第一导向部件，被配设在所述底座上；第一板部件，被载置于所述第一导向部件并在所述工作台的面内方向上能够沿第一引导方向移动，所述第一引导方向为所述第一导向部件所延伸的方向；第二导向部件，被载置于所述第一板部件并沿第二引导方向延伸，所述第二引导方向为所述工作台的与所述第一引导方向正交的面内方向；和第二连接部，被载置于所述第二导向部件并被固定设置为与所述工作台一体，所述第二连接部能够沿所述第二引导方向移动，

在所述多个支撑部中，一对第一支撑部以在作为所述第一引导方向的X方向上相对的方式放置并被设置于所述工作台的边缘部，一对第二支撑部以在作为所述第二引导方向的Y方向上相对的方式放置并被设置于所述工作台的边缘部，

所述支撑驱动部均设置在所述工作台中的相对的边缘部上的中央位置上，

所述支撑驱动部具备驱动装置，所述驱动装置被设置于一对所述第一支撑部中的至少一个支撑部以及一对所述第二支撑部中的至少一个支撑部，

所述驱动装置与所述第一板部件和所述第二连接部连接，并能将所述第一板部件和所述第二连接部沿所述第二引导方向相对驱动，

所述第一支撑部中的所述驱动装置具有：轴承，被设置于所述第一板部件的所述Y方向两端；驱动螺杆部，架设并螺合于这些轴承；螺母部，在所述轴承及所述轴承之间被螺合到所述驱动螺杆部；和电动机，用于旋转驱动所述驱动螺杆部，所述螺母部被固定设置为与所述工作台一体且能沿所述第二引导方向移动，

所述第二支撑部中的所述驱动装置与所述第一支撑部中的所述驱动装置的配置方向彼此正交，且结构大致相同，并且以相同的高度被配置在所述底座上，

在这些驱动装置中，均通过所述电动机使所述驱动螺杆部转动规定量，从而使所述螺母部能够在所述驱动螺杆部的轴线方向上移动。

2.一种对准装置，具备：

圆弧状的R导向部件，被设置于权利要求1所述的XY工作台中的所述工作台上；和能够顺着沿所述R导向部件的圆弧状的第三引导方向驱动的驱动部，

所述对准装置还具备θ工作台，所述θ工作台以通过所述驱动部能够沿所述第三引导方向驱动的方式得到支撑，

所述R导向部件配置在俯视观察时与所述支撑驱动部对应的位置上。

3.根据权利要求2所述的对准装置，其中，具备：

Z方向导向部件，被设置于所述θ工作台，并相对于所述θ工作台沿铅直方向延伸；和能够顺着沿所述Z方向导向部件的铅直方向驱动的驱动部，

所述对准装置还具备Z工作台，所述Z工作台以通过所述驱动部能够沿所述Z方向导向部件上下移动的方式得到支撑。

4.一种蒸镀装置，具备：

腔室；

蒸镀源，被设置于所述腔室内；

蒸镀掩模，被配置在所述蒸镀源的上方；

基板支撑部，用于在所述蒸镀掩模的上侧支撑被处理基板；和

权利要求3所述的对准装置，

所述对准装置能从所述腔室的外侧驱动所述基板支撑部。

5.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其中，

所述对准装置在框状的所述工作台的俯视中央位置上设置有对准部，所述对准部用于对所述蒸镀掩模与所述被处理基板进行对准。

6.根据权利要求4或5所述的蒸镀装置，其中，

所述对准装置在框状的所述工作台的俯视中央位置上设置有基板紧贴部，所述基板紧贴部用于使所述蒸镀掩模和所述被处理基板在对准之后紧贴。

7.根据权利要求4或5所述的蒸镀装置，其中，

设置有在所述腔室的内部将所述被处理基板运送至所述基板支撑部的运送部。