[实用新型]数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统有效
| 申请号： | 201521126877.1 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205608390U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 崔辰静;鲁拥华;王沛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统，包括：448nm激光器、起偏器、空间滤波器、反射镜1、DMD、扩束装置、反射镜2、多面棱镜与样品台；其中：448nm激光器出射的激光依次经过起偏器、空间滤波器与反射镜1后射入数字微镜设备DMD，从DMD出射光变成为与加载在DMD上的图案一样形状的平行光，并射入扩束装置；该扩束装置使光束尺寸与多面棱镜侧面尺寸匹配，再经反射镜2入射到多面棱镜侧面，每一入射光经过多面棱镜的偏折后出射，通过上下移动样品台使从多面棱镜出射的多路光线干涉叠加在光刻胶上。本实用新型方案实现了多光束干涉光刻光路的简化，无需使用大量分束器和反射镜；并且，所刻写结构的尺寸远小于DMD直写光刻结构尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 设备 多面 棱镜 结合 光束 干涉 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统，其特征在于，包括：448nm激光器、起偏器、空间滤波器、反射镜1、数字微镜设备DMD、扩束装置、反射镜2、多面棱镜与样品台；其中：所述448nm激光器出射的激光依次经过起偏器、空间滤波器与反射镜1后射入数字微镜设备DMD，从DMD出射光变成为与加载在DMD上的图案一样形状的平行光，并射入扩束装置；该扩束装置使光束尺寸与多面棱镜侧面尺寸匹配，再经由反射镜2入射到多面棱镜侧面，且每一入射光经过多面棱镜的偏折后出射，通过上下移动样品台使从多面棱镜出射的多路光线干涉叠加在光刻胶上。
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