[实用新型]数字微镜设备与多面棱镜结合的多光束干涉光刻系统有效
| 申请号： | 201521126877.1 | 申请日： | 2015-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN205608390U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 崔辰静;鲁拥华;王沛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;郑哲 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 数字 设备 多面 棱镜 结合 光束 干涉 光刻 系统 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201521126877.1/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种作业智能化网电变频拖挂修井机
- 下一篇：虚拟现实用全景拍摄装置
