[实用新型]磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型属于靶材制造领域，具体涉及磁控溅射镀膜机，包括呈密封结构的壳体，壳体内安装有溅射器，所述壳体内设置有基板安装架，所述的基板安装架为圆筒形结构，基板安装架外侧壁上设置有基板安装位，基板安装架动力连接有电动机，电动机的轴线与基板安装架轴线重合设置，电动机固定设置在壳体底面，基板安装架还连接有负极连接线。本实用新型，采用旋转的基板安装架将基板装设在壳体内进行溅射镀膜，与现有的溅射器移动、基板固定的方式相比，基板移动更加灵活、速度容易保证，镀膜更加稳定，能够有效避免发生镀膜不均匀的问题，生产效率更高。

主权项

磁控溅射镀膜机，包括呈密封结构的壳体(1)，壳体(1)内安装有溅射器(2)，所述壳体(1)内设置有基板安装架(3)，其特征在于：所述的基板安装架(3)为圆筒形结构，基板安装架(3)外侧壁上设置有基板安装位，基板安装架(3)动力连接有电动机(4)，电动机(4)的轴线与基板安装架(3)轴线重合设置，电动机(4)固定设置在壳体(1)底面，基板安装架还连接有负极连接线(5)。