[实用新型]磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201521061849.6 | 申请日： | 2015-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN205258594U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 崔娜;朱辉;闫丽娜;张卫;康林杰;郄奕 | 申请（专利权）人： | 河北东同光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 石家庄元汇专利代理事务所(特殊普通合伙) 13115 | 代理人： | 刘闻铎 |
| 地址： | 050000 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 镀膜 | ||
1.磁控溅射镀膜机，包括呈密封结构的壳体(1)，壳体(1)内安装 有溅射器(2)，所述壳体(1)内设置有基板安装架(3)，其特征在于：所 述的基板安装架(3)为圆筒形结构，基板安装架(3)外侧壁上设置有基 板安装位，基板安装架(3)动力连接有电动机(4)，电动机(4)的轴线 与基板安装架(3)轴线重合设置，电动机(4)固定设置在壳体(1)底面， 基板安装架还连接有负极连接线(5)。
2.根据权利要求1所述磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的基板安 装位包括设置在基板安装架(3)的外侧壁并且上、下相对的上固定槽(6) 及下固定槽(7)，上固定槽(6)及下固定槽(7)都为U型槽体结构，上 固定槽(6)及下固定槽(7)环绕基板安装架(3)设置有多组。
3.根据权利要求2所述磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的上固定 槽(6)与基板安装架(3)固定连接，下固定槽(7)借助基板安装架(3) 上设置的安装槽(8)形成活动连接，安装槽(8)内设置有弹簧(9)，弹 簧(9)设置在下固定槽(7)底面与安装槽(8)底面之间，所述的下固定 槽(7)侧壁还设置有限位台(10)，限位台(10)与安装槽(8)内设置的 限位槽(11)形成限位配合。
4.根据权利要求1所述磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述的负极连 接线(5)与电动机(4)之间借助石墨套环(12)连接，石墨套环(12) 套装在电动机(4)输出轴上。
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