[实用新型]一种基板作业信息追踪系统

摘要

本实用新型涉及一种基板作业信息追踪系统，包括:标签系统、数据读取分析系统、存储系统，其特征在于：所述标签系统，包括：标签和标签读取器，所述标签设置在基板上；所述存储系统为一台服务器；所述标签读取器与服务器相连；所述数据读取分析系统，包括：CCD摄像头模块和连接在CCD摄像头模块上的测量结果分析模块，所述测量结果分析模块与服务器相连。本实用新型可对半导体基板的生产信息，通过坐标进行记录，同时采用二维码或RFID技术,可对基板的作业信息结果进行实时跟踪及数据的共享，避免了由于无法共享作业结果信息，影响作业效率。

主权项

一种基板作业信息追踪系统，包括: 标签系统、数据读取分析系统、存储系统，其特征在于：所述标签系统，包括：标签和标签读取器，所述标签设置在基板上；所述存储系统为一台服务器；所述标签读取器与服务器相连；所述数据读取分析系统，包括：CCD摄像头模块和连接在CCD摄像头模块上的测量结果分析模块，所述测量结果分析模块与服务器相连。