[实用新型]一种基板作业信息追踪系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基板作业信息追踪系统。

背景技术

在半导体封装后工程生产过程中，由于设备型号及生产方式的不同，对基板的作业顺序不统一，无法共享作业结果信息，造成对基板上不良的点位重复作业，影响作业效率。同时，由于后工程设备没有相关电算系统，产品在后工程生产没有记录，影响后期数据追踪。

实用新型内容

本实用新型提供一种基板作业信息追踪系统，用于解决现在在半导体封装后工程生产过程中无法共享作业结果信息，影响作业效率和后期数据追踪等问题。为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种基板作业信息追踪系统，包括:标签系统、数据读取分析系统、存储系统，其特征在于：所述标签系统，包括：标签和标签读取器，所述标签设置在基板上；所述存储系统为一台服务器；所述标签读取器与服务器相连；所述数据读取分析系统，包括：CCD摄像头模块和连接在CCD摄像头模块上的测量结果分析模块，所述测量结果分析模块与服务器相连。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述服务器通过无线或有线网络连接标签读取器和测量结果分析模块。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签为二维码标签或RFID标签。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签读取器为二维码读取器或RFID标签读取器。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签读取器为固定式或移动式标签读取器。

以下为对于本系统的工作方式描述：在标签系统中，基板上设有二维码标签或RFID标签，当基板进入半导体加工设备进行作业操作时，标签读取器扫描二维码标签或RFID标签的信息并进行处理，处理后的信息传送至服务器，其对基板进行ID标注。

数据读取分析系统对基板信息进行分析，CCD摄像头模块对基板进行数据收集，将收集到的数据传送到测量结果分析模块，测量结果分析模块采用坐标信息记录方式，当CCD摄像头收集的数据中发现基板点位不良时，其对不良的基板点进行标记，形成坐标点（X,Y）。测量结果分析模块将测量到的数据传送至服务器。

当下一个工序设备生产前可自动下载服务器中的信息记录，在以后的工序中将对记录中基板的不良点位自动跳过生产，避免重复操作，影响作业效率。

本实用新型的有益效果：本实用新型可对半导体基板的生产信息，通过坐标进行记录，同时采用二维码或RFID技术,可对基板的作业信息结果进行实时跟踪及数据的共享，避免了由于无法共享作业结果信息，影响作业效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构框图。

具体实施方式

由图1所示可知，一种基板作业信息追踪系统，包括:标签系统、数据读取分析系统、存储系统，其特征在于：所述标签系统，包括：标签和标签读取器，所述标签设置在基板上；所述存储系统为一台服务器；所述标签读取器与服务器相连；所述数据读取分析系统，包括：CCD摄像头模块和连接在CCD摄像头模块上的测量结果分析模块，所述测量结果分析模块与服务器相连。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述服务器通过无线或有线网络连接标签读取器和测量结果分析模块。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签为二维码标签或RFID标签。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签读取器为二维码读取器或RFID标签读取器。

优选的，一种基板作业信息追踪系统，其特征在于：所述标签读取器为固定式或移动式标签读取器。

以下为对于本系统的工作方式描述：在标签系统中，基板上设有二维码标签或RFID标签，当基板进入半导体加工设备进行作业操作时，标签读取器扫描二维码标签或RFID标签的信息并进行处理，处理后的信息传送至服务器，其对基板进行ID标注。

数据读取分析系统对基板信息进行分析，CCD摄像头模块对基板进行数据收集，将收集到的数据传送到测量结果分析模块，测量结果分析模块采用坐标信息记录方式，当CCD摄像头收集的数据中发现基板点位不良时，其对不良的基板点进行标记，形成坐标点（X,Y）。测量结果分析模块将测量到的数据传送至服务器。

当下一个工序设备生产前可自动下载服务器中的信息记录，在以后的工序中将对记录中基板的不良点位自动跳过生产，避免重复操作，影响作业效率。