[实用新型]一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置有效
| 申请号： | 201520953124.1 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205172884U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 于少鹏;邸士强;汤萍;赵东君;王新鹏;赵沙沙 | 申请（专利权）人： | 绿菱电子材料（天津）有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301714 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。环形腔与双层膜弹性隔膜共同配合，起到了有效隔振作用，便于为敏感仪器提供真空环境，保证仪器测量数据的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设于 空腔 真空泵 之间 振动 隔离 装置 | ||
【主权项】：
一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。
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