[实用新型]一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置有效
| 申请号： | 201520953124.1 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205172884U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 于少鹏;邸士强;汤萍;赵东君;王新鹏;赵沙沙 | 申请（专利权）人： | 绿菱电子材料（天津）有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/00 | 分类号： | F04B39/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 301714 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 设于 空腔 真空泵 之间 振动 隔离 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种设于真空腔与真空泵之间的振动隔离装置，其特征在于，包 括设于真空泵顶端的基座，一端设于基座内的双层弹性隔膜及固定双 层弹性隔膜的另一端的稳定凸缘，所述稳定凸缘通过标准法兰与真空 腔连接，所述双层弹性隔膜的一侧通过穿过基座的导管连接真空泵出 口，所述基座底部横向延伸与稳定凸缘形成环形腔，基座与稳定凸缘 底部空隙设有柔性膜片，所述环形腔通过增压口连接外部加压气源。
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