[实用新型]一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台有效

专利信息
申请号: 201520950964.2 申请日: 2015-11-25
公开(公告)号: CN205128266U 公开(公告)日: 2016-04-06
发明(设计)人: 王勇 申请(专利权)人: 浙江恒都光电科技有限公司
主分类号: B05B13/02 分类号: B05B13/02;B05B15/00
代理公司: 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 代理人: 郑文涛
地址: 314416 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台,以及拌料装置和吸尘装置,所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机,所述吸尘通道的内端口为喇叭口,所述喇叭口边缘固定有照明灯具。本实用新型中的多晶硅生产用石英坩埚喷涂台的结构合理,能够有效改善喷涂车间的工作环境,并降低造价,具有很好的使用效果。
搜索关键词: 一种 多晶 生产 石英 坩埚 喷涂
【主权项】:
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台(1),以及拌料装置,其特征在于,还包括吸尘装置(2),所述吸尘装置(2)包括吸尘通道(4)和设于所述吸尘通道(4)上的风机(5),所述吸尘通道(4)的内端口为喇叭口(3),所述喇叭口(3)边缘固定有照明灯具(7)。
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