[实用新型]一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台有效
申请号: | 201520950964.2 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN205128266U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 浙江恒都光电科技有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B15/00 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 郑文涛 |
地址: | 314416 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 生产 石英 坩埚 喷涂 | ||
技术领域
本实用新型属于石英坩埚制造技术领域,具体涉及一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台。
背景技术
多晶硅晶体是在多晶铸锭炉中进行烧制后形成的,具体是将多晶硅原料装在内表面涂有氮化硅粉脱模剂的石英坩埚内,然后将石英坩埚置于多晶硅锭炉内,通过加热、熔化、长晶、退火和冷却等一系列过程得到符合要求的多晶硅锭。石英坩埚在喷涂氮化硅涂料时需要在喷涂台上操作,并且喷涂时周围会产生大量粉尘,当前喷涂工人在工作时多通过穿戴工作服和口罩来避免皮肤与粉尘接触,防护效果较差;另外,现有石英坩埚喷涂台中照明灯具大都通过另外设置灯架安装,结构复杂,造价较高。
实用新型内容
对此,本实用新型所要解决的技术问题是现有技术中石英坩埚喷涂车间内工作环境差,和照明灯具安装时需要设置灯架导致造价高的问题,从而提供一种能有效改善工作环境,并能有效降低造价的石英坩埚喷涂台。
实现本实用新型目的的技术方案是:
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,包括设于可旋转底座上的喷涂平台,以及拌料装置,它还包括吸尘装置,所述吸尘装置包括吸尘通道和设于所述吸尘通道上的风机,所述吸尘通道的内端口为喇叭口,所述喇叭口边缘固定有照明灯具。
上述技术方案中,所述照明灯具背部设有安装架,所述安装架上设有适于与所述喇叭口外壁相贴合的安装片,所述安装片上设有适于固定安装的固定孔,所述喇叭口的外壁上设有适于与所述固定孔卡接的固定凸台及适于在所述固定孔与所述固定凸台形成配合时压紧所述安装架的压紧弹片。
上述技术方案中,所述压紧弹片上具有圆弧形压接部。
上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有过滤网,所述过滤网的下方设有粉尘收集装置。
上述技术方案中,所述吸尘通道的出风口处设有插槽,所述粉尘收集装置边缘处设有适于与所述插槽插接配合的插片。
本实用新型具有积极的效果:
(1)本实施例中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道的内端口设计成喇叭口状,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康,进一步在喇叭口处设置照明灯具,可使操作人员更容易看清喷涂效果,将照明灯具设置在喇叭口边缘上,就无需另外设置灯架安装照明灯具,从而能够降低造价。
(2)本实用新型中照明灯具在安装时,通过固定凸台与固定孔配合并通过压紧弹片压紧安装片,安装操作便捷且牢靠,具有很好的使用效果。
(3)本实用新型中,通过设置过滤网及粉尘收集装置,能够防止粉尘流出造成粉尘污染,进一步在所述吸尘通道的出风口处设置插槽,所述粉尘收集装置边缘处设置适于与所述插槽插接配合的插片,在安装粉尘收集装置时只需将其上插片与所述吸尘通道出风口处的插槽插接即可,拆卸时同样非常便捷。
附图说明
图1为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台的结构示意图。
图2为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台照明灯具安装时的局部视图;
图3为本实用新型多晶硅生产用石英坩埚喷涂台中拌料装置的结构示意。
图中所示附图标记为:1、喷涂平台,2、吸尘装置,3、喇叭口,4、吸尘通道,5、风机,6、粉尘收集装置,7、照明灯具,8、安装片,9、固定孔,10、固定凸台,11、压紧弹片,12、固定杆,13、活动块,14、第一锁紧装置,15、安装杆,16、第二锁紧装置,17、搅拌机构,18、过滤网,19、圆弧形压接部,20、插槽,21、安装架。
具体实施方式
下面结合说明书附图对本实用新型中石英坩埚喷涂台的具体结构做以说明:
实施例1
一种多晶硅生产用石英坩埚喷涂台,如图1和图2所示,其包括设于可旋转底座上的喷涂平台1,以及拌料装置,除此之外,它还包括吸尘装置2,所述吸尘装置2包括吸尘通道4和设于所述吸尘通道4上的风机5,所述吸尘通道4的内端口为喇叭口,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径。本实施例中通过设置吸尘装置,并将吸尘通道4的内端口设计成喇叭口状,位于所述喷涂平台1的正上方,且所述喇叭口的口径大于所述喷涂平台1的外径,这样一来,能够及时有效的将喷涂作业时产生的粉尘及时排出喷涂车间,从而改善了喷涂车间的工作环境,有益于工作人员的身体健康。
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