[实用新型]一种新型的四氯化硅汽化装置有效
| 申请号： | 201520945475.8 | 申请日： | 2015-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN205187884U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 周骏 | 申请（专利权）人： | 杭州富通翔骏新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型的四氯化硅汽化装置，包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱，四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内，四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁；且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部，四氯化硅出气管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上设置有若干个平行排列的U型加热电棒。本实用新型四氯化硅进气管和出气管采用嵌套式结构，四氯化硅出气管嵌套在进气管的外壁上，增设气体分离装置使得进气均匀、整个壁筒内气体分布均匀；同时在壁筒内增设若干组U型加热电棒，使得四氯化硅进行充分汽化，本实用新型提供的四氯化硅汽化装置可以很好地降低生产成本，提高设备安全性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氯化 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种新型的四氯化硅汽化装置，包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内，四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁；且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部，四氯化硅出气管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上设置有若干个平行排列的U型加热电棒，每个U型加热电棒通过电极与加热电源相连接；密封筒柱的顶部上设置有保险开关，且该保险开关位于四氯化硅进气管的端口的正上方；壁筒的底端上还设有排污管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州富通翔骏新材料有限公司，未经杭州富通翔骏新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520945475.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
