[实用新型]一种新型的四氯化硅汽化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型的四氯化硅汽化装置。

背景技术

近几年来，随着太阳能光伏产业的飞速发展，多晶硅作为太阳能电池板或组件的原材料常量也大幅增加，与此同时，多晶硅生产过程中的副产物四氯化硅也大幅增多，这对环境产生了巨大的压力，也为多晶硅生产的原料三氯氢硅的循环生成带来了困扰，而要实现四氯化硅到三氯氢硅的转化，首先就是要实现四氯化硅的汽化。因此，为了能够实现上述目的，四氯化硅必须先经过汽化处理。

通常，四氯化硅的汽化在大约200℃下汽化，传统的卧式汽化器采用电加热方式进行汽化，虽然可以达到汽化目的，但也存在着汽化温度不易控制，从而导致其他杂质被汽化的发生，以及电解热棒与四氯化硅接触面积较小，温度不均匀，造成四氯化硅液体的湍流，也容易使液体中的重质杂质从汽化器底部浮起，影响四氯化硅液体稳定性和汽化效率。

另一种立式的连通形式的汽化器虽然可以较为有效的避免四氯化硅液体的湍流，但依然存在电解热温度不均，接触面积小的问题。

发明内容

为了解决上述的技术问题，本实用新型的目的在于提供一种四氯化硅汽化器，以提高四氯化硅的汽化效率，节能降耗，降低生产成本，提高设备高效性，安全性和稳定性。

为了达到上述的目的，本实用新型采用了以下的技术方案：

提供一种新型的四氯化硅汽化装置，包括由底座和壁筒一体连接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅进气管从底座中心延伸进入密封筒柱内，四氯化硅出气管嵌套在该四氯化硅进气管的外壁；且四氯化硅进气管的端口靠近于密封筒柱的顶部，四氯化硅出气管的端口靠近于密封筒柱的底座；底座上设置有若干个平行排列的U型加热电棒，每个U型加热电棒通过电极与加热电源相连接；密封筒柱的顶部上设置有保险开关，且该保险开关位于四氯化硅进气管的端口的正上方；壁筒的底端上还设有排污管。

本实用新型的优点是：本实用新型四氯化硅进气管和出气管采用嵌套式结构，四氯化硅出气管嵌套在进气管的外壁上，增设气体分离装置使得进气均匀、整个壁筒内气体分布均匀；同时在壁筒内增设若干组U型加热电棒，使得四氯化硅进行充分汽化，本实用新型提供的四氯化硅汽化装置可以很好地降低生产成本，提高设备安全性和稳定性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

附图说明：1保险开关，2分离装置，3进气管，4出气管，5底座，6壁筒，7U型加热电棒，8加热电源，9电极。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做一个详细的说明。

如图1所示的一种新型的四氯化硅汽化装置的具体实施例，提供一种新型的四氯化硅汽化装置，包括由底座5和壁筒6一体连接而成的密封筒柱，其特征在于，四氯化硅进气管3从底座5中心延伸进入密封筒柱内，四氯化硅出气管4嵌套在该四氯化硅进气管3的外壁；且四氯化硅进气管3的端口靠近于密封筒柱的顶部，四氯化硅出气管4的端口靠近于密封筒柱的底座5；底座5上设置有若干个平行排列的U型加热电棒7，每个U型加热电棒7通过电极9与加热电源8相连接；密封筒柱的顶部上设置有保险开关1，且该保险开关1位于四氯化硅进气管3的端口的正上方；当壁筒6内部压力大于安全压力时，关闭进气管3，并采用相应的泄压方式，以确保壁筒6内安全运行；壁筒6的底端上还设有排污管。

本实用新型四氯化硅进气管3和出气管4采用嵌套式结构，四氯化硅出气管4嵌套在进气管3的外壁上，增设气体分离装置2使得进气均匀、整个壁筒6内气体分布均匀；同时在壁筒6内增设若干组U型加热电棒7，使得四氯化硅进行充分汽化，本实用新型提供的四氯化硅汽化装置可以很好地降低生产成本，提高设备安全性和稳定性。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。