[实用新型]便于清洁的金属有机物化学气相沉积设备中的石墨盘有效
| 申请号： | 201520931104.4 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN205223345U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 丁国建;张业民;刘佩;陈宇;张荣勤;宋京 | 申请（专利权）人： | 天津中环新光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/18 | 分类号： | C23C16/18;C23C16/44 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 12203 | 代理人： | 高凤荣 |
| 地址： | 300385 天津市西*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种便于清洁的金属有机物化学气相沉积设备中的石墨盘，设有：石墨盘，该石墨盘的表面设有数个凹槽，凹槽之外的地方覆盖有预埋层，预埋层上覆盖有沉积层。本实用新型便于清洁的金属有机物化学气相沉积设备中的石墨盘，其能够将金属有机物化学气相沉积设备中的石墨盘进行干湿法处理，使处理后的石墨盘不仅表面更为干净，而且，大大缩短了高温烘烤时间，节省了大量电能。 | ||
| 搜索关键词： | 便于 清洁 金属 有机物 化学 沉积 设备 中的 石墨 | ||
【主权项】：
一种便于清洁的金属有机物化学气相沉积设备中的石墨盘，设有：石墨盘，其特征在于：该石墨盘的表面设有数个凹槽，凹槽之外的地方覆盖有预埋层，预埋层上覆盖有沉积层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津中环新光科技有限公司，未经天津中环新光科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520931104.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种锌湿法冶金净化添加剂预处理装置
- 下一篇：一种锌液转运装置
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
