[实用新型]用于真空镀膜系统的环形坩埚有效
| 申请号： | 201520920849.0 | 申请日： | 2015-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN205188413U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 谢继闯 | 申请（专利权）人： | 合波光电通信科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林松海 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜系统的环形坩埚，包括环形主体、水流分流板、底板、冷却水导管、旋转主轴，环形主体的中心通过螺丝固定水流分流板，外圈设有氟橡胶密封圈，底板通过固定螺栓与固定水流分流板相连压紧氟橡胶密封圈后形成一个中空腔体为冷却水提供循环空间，然后整体固定在电机的旋转主轴上，主轴中空，内部设有冷却水导管为所述中空腔体提供冷却水。所述的环形主体进一步设有上盖板，用于为防止蒸镀过程对固定螺栓的污染。本实用新型的有益效果是：增大冷却水冷却面积后可以避免蒸镀材料在预熔料过程中出现的结构密度问题，能有效减少预熔次数节约蒸镀材料稳定蒸镀速率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 系统 环形 坩埚 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜系统的环形坩埚，其特征是：包括环形主体（1）、水流分流板（2）、底板（3）、冷却水导管（6）、旋转主轴（7），环形主体（1）的中心通过螺丝固定水流分流板（2），外圈设有氟橡胶密封圈，底板（3）通过固定螺栓（4）与固定水流分流板（2）相连压紧氟橡胶密封圈后形成一个中空腔体为冷却水提供循环空间，然后整体固定在电机的旋转主轴（7）上，主轴中空，内部设有冷却水导管（6）为所述中空腔体提供冷却水。
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