[实用新型]软光刻用实验台有效
| 申请号： | 201520912389.7 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205247056U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 林敏;李蓉 | 申请（专利权）人： | 四川航达机电技术开发服务中心 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 刘冬静 |
| 地址： | 610100 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 软光刻用实验台，包括箱体，箱体安装有单片机控制台，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台，操作台上有夹具；箱体内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫外灯安装在其中；加热系统还包括箱体内两侧壁上的温度传感器和操作台两侧的加热器；压力控制系统包括与箱体联通的真空泵，真空泵旁安装有气压表。该软光刻用实验台，成本相对低廉，可以实现元尘、恒温、压力可控、紫外光照等多种功能，满足普通实验室进行微传递模塑等软光刻操作的要求，解决了普通实验室因加工设备比较昂贵，难以购置软光刻所需的多台设备的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 实验 | ||
【主权项】：
软光刻用实验台，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)安装有单片机控制台(2)，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统；箱体底部为一个水平度可调节的操作台(7)，操作台上有夹具；箱体(1)内顶部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的紫外灯安装在其中；加热系统还包括箱体(1)内两侧壁上的温度传感器(5)和操作台(7)两侧的加热器(6)；压力控制系统包括与箱体(1)联通的真空泵(4)，真空泵(4)旁安装有气压表。
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