[实用新型]软光刻用实验台有效
| 申请号： | 201520912389.7 | 申请日： | 2015-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN205247056U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 林敏;李蓉 | 申请（专利权）人： | 四川航达机电技术开发服务中心 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都元信知识产权代理有限公司 51234 | 代理人： | 刘冬静 |
| 地址： | 610100 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 实验 | ||
【权利要求书】：
1.软光刻用实验台，其特征在于：包括箱体(1)，箱体(1)安装有单片 机控制台(2)，还安装有照明系统、加热系统、紫外光照系统及压力控制系统； 箱体底部为一个水平度可调节的操作台(7)，操作台上有夹具；箱体(1)内顶 部安装有光源装置，照明系统的日光灯、加热系统的碘钨灯和紫外光照系统的 紫外灯安装在其中；加热系统还包括箱体(1)内两侧壁上的温度传感器(5) 和操作台(7)两侧的加热器(6)；压力控制系统包括与箱体(1)联通的真空 泵(4)，真空泵(4)旁安装有气压表。
2.根据权利要求1所述的软光刻用实验台，其特征在于：箱体(1)两侧 有2个圆孔与伸入箱内的操作手套相连接。
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