[实用新型]溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器有效
| 申请号： | 201520876503.5 | 申请日： | 2015-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN205099745U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 曹兴民;庄志杰 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郭春远 |
| 地址： | 215214 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器，外管(5)内部安装内管(6)，而且在内管(6)之中安装加热管(2)，在外管(5)和内管(6)之间有低熔点金属填料(1)。通过加热元件加热低熔点金属，而且，将低熔点金属作为导热介质，同时具有加热均匀，温升稳定，而且热辐射和传导面积大的特点，并使之进一步的实现对所绑定靶材进行更为优良的加热。加热快速均匀，而且温度稳定，测温精确，使用方便。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镀膜 旋转 绑定 内部 加热器 | ||
【主权项】：
溅射镀膜旋转靶材绑定的内部加热器,包括低熔点金属填料(1)、加热管(2)、外管(5)和内管(6)；其特征在于，外管(5)内部安装内管(6)，而且在内管(6)之中安装加热管(2)，在外管(5)和内管(6)之间有低熔点金属填料(1)。
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