[实用新型]一种混合延时型扩散炉用石英管有效
| 申请号： | 201520820248.2 | 申请日： | 2015-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN205152400U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 徐海涛 | 申请（专利权）人： | 青岛金汇源电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266400 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体领域，涉及一种混合延时型扩散炉用石英管，所述的管体的一端顶部并排设置有两个进气口，每个进气口均连通有进气管，每个进气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的进气管下表面均匀开设有进气孔；所述的进气管与硅片间位置处的管体内水平设置有隔板，隔板与管体内水平截面大小一致，隔板上均匀开设有透气孔；所述的管体的一端底部设置有一个排气口，排气口连通有排气管，排气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的排气管上表面均匀开设有排气孔。本实用新型既解决了产生层流的问题，又能降低成本，并且能够保证气体在与硅片接触前能够混合均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 延时 扩散 石英管 | ||
【主权项】：
一种混合延时型扩散炉用石英管，包括具有一个内腔的管体，管体内置有石英舟，石英舟上均匀排列有硅片，其特征在于：所述的管体的一端顶部并排设置有两个进气口，每个进气口均连通有进气管，分别为N2进气管和O2进气管，每个进气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的进气管下表面均匀开设有进气孔；所述的进气管与硅片间位置处的管体内水平设置有隔板，隔板与管体内水平截面大小一致，隔板上均匀开设有透气孔；所述的管体的一端底部设置有一个排气口，排气口连通有排气管，排气管从管体内通向管体的另一端且管端封闭，位于管体内的排气管上表面均匀开设有排气孔。
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