[实用新型]离子源有效
申请号: | 201520727902.5 | 申请日: | 2015-09-18 |
公开(公告)号: | CN204991648U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 闻路红;赵鹏 | 申请(专利权)人: | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310012 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种离子源,所述离子源包括:绝缘管,所述绝缘管两端开口;第一电极,所述第一电极设置在所述绝缘管的外侧,所述第一电极具有第一接线端;第二电极,所述第二电极设置在所述绝缘管的内侧或所述绝缘管外第一电极的非绝缘管径向的侧部,所述第二电极具有第二接线端;接地电极,所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。本实用新型具有灵敏度高等优点。 | ||
搜索关键词: | 离子源 | ||
【主权项】:
一种离子源,其特征在于:所述离子源包括:绝缘管,所述绝缘管两端开口;第一电极,所述第一电极设置在所述绝缘管的外侧,所述第一电极具有第一接线端;第二电极,所述第二电极设置在所述绝缘管的内侧或所述绝缘管外第一电极的非绝缘管径向的侧部,所述第二电极具有第二接线端;接地电极,所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。
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