[实用新型]离子源有效
| 申请号： | 201520727902.5 | 申请日： | 2015-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN204991648U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 闻路红;赵鹏 | 申请（专利权）人： | 宁波华仪宁创智能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310012 浙江省宁波市鄞州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子源 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子源，其特征在于：所述离子源包括：
绝缘管，所述绝缘管两端开口；
第一电极，所述第一电极设置在所述绝缘管的外侧，所述第一电极具有第一接线端；
第二电极，所述第二电极设置在所述绝缘管的内侧或所述绝缘管外第一电极的非绝缘管径向的侧部，所述第二电极具有第二接线端；
接地电极，所述接地电极设置在所述绝缘管的开口端。
2.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于：所述绝缘管具有内径收缩段；所述接地电极设置在所述内径收缩段侧的开口端。
3.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于：所述第一电极和/第二电极是环形电极。
4.根据权利要求1所述的离子源，其特征在于：所述接地电极是环形电极或针形电极或筛电极。
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