[实用新型]坩埚液位测量仪有效
| 申请号： | 201520703886.6 | 申请日： | 2015-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN204881528U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 秦朗 | 申请（专利权）人： | 锦州神工半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01F23/00 |
| 代理公司： | 锦州辽西专利事务所 21225 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 121016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚液位测量仪，它有一个环形底板框架，在底板框架的二个直段上表面对称设有导轨，在底板框架上设有可沿导轨直线滑动的镜头支架，在镜头支架上端设有与导轨垂直的滑道并在滑道上设有可沿滑道往复滑动的镜头座，在镜头座内设有调焦镜头；在镜头支架上端设有数显表，数显表的表头与镜头座连接，数显表的标尺两端与镜头支架连接。本实用新型的有益效果是：利用该测量仪，能够精确测量并读出导流罩下沿到坩埚液面的距离，从而可实现精确控制。每小时对该数据进行记录，便可计算出实际的坩埚上升速度，可以更好统计出数据，对坩埚上升速度工艺参数进行设计。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 测量仪 | ||
【主权项】：
一种坩埚液位测量仪，其特征是：它有一个环形底板框架，在底板框架的二个直段上表面对称设有导轨，在底板框架上设有可沿导轨直线滑动的镜头支架，在镜头支架上端设有与导轨垂直的滑道并在滑道上设有可沿滑道往复滑动的镜头座，在镜头座内设有调焦镜头；在镜头支架上端设有数显表，数显表的表头与镜头座连接，数显表的标尺两端与镜头支架连接。
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