[实用新型]一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置有效
| 申请号： | 201520692354.7 | 申请日： | 2015-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN204944803U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 陆敏婷 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 宋倩;袁由茂 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，该装置包括设置在激光器输出光路上的光电变送单元以及与所述光电变送单元连接的同轴传输线，所述光电变送单元包括光电传感单元、一级放大单元和二级放大单元；所述光电传感单元的输出端通过一级放大单元与二级放大单元的输入端连接，所述二级放大单元的输出端通过同轴传输线与后端电路的输入端连接。本实用新型可以实时测量激光器输出的激光光强，不仅能够检测出激光器是否发生能量衰减，而且结合能量闭环控制系统，还能够有效解决激光器能量跳变这一技术难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 曝光 能量 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：该装置包括设置在激光器输出光路上的光电变送单元以及与所述光电变送单元连接的同轴传输线，所述光电变送单元包括光电传感单元、一级放大单元和二级放大单元；所述光电传感单元的输出端通过一级放大单元与二级放大单元的输入端连接，所述二级放大单元的输出端通过同轴传输线与后端电路的输入端连接。
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