[实用新型]一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置

权利要求书

1.一种用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：该装置包括设置在激光器输出光路上的光电变送单元以及与所述光电变送单元连接的同轴传输线，所述光电变送单元包括光电传感单元、一级放大单元和二级放大单元；所述光电传感单元的输出端通过一级放大单元与二级放大单元的输入端连接，所述二级放大单元的输出端通过同轴传输线与后端电路的输入端连接。

2.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：该装置还包括用于放置光电变送单元的安装壳体，所述安装壳体上与光电传感单元相对应的位置开设有通光孔。

3.根据权利要求1所述的用于激光直写曝光机的激光能量测量装置，其特征在于：所述光电传感单元包括光电传感器、第一限流电阻和第一滤波电容，所述一级放大单元包括第一运算放大器、第一反馈电阻和反馈电容，所述二级放大单元包括第二运算放大器、第二限流电阻、第二滤波电容、第三滤波电容、第四滤波电容和第二反馈电阻；

所述光电传感器的正极通过第一限流电阻与电源连接，其负极与第一运算放大器的反相输入端连接，所述第一滤波电容的一端连接到光电传感器与第一限流电阻之间的节点，另一端接地；

所述第一运算放大器的同相输入端接地，其输出端通过第二限流电阻与第二运算放大器的同相输入端连接，所述第一反馈电阻与反馈电容并联构成负反馈电路，所述负反馈电路连接在第一运算放大器的反相输入端与输出端之间；

所述第二运算放大器的反相输入端与输出端连接，所述第二反馈电阻的一端连接到第二运算放大器的反相输入端与输出端之间的节点，另一端接地；所述第三滤波电容的一端连接到第二运算放大器的负电源端与电源之间的节点，另一端接地；所述第四滤波电容的一端连接到第二运算放大器的正电源端与电源之间的节点，另一端接地。