[实用新型]化学机械抛光装置用承载头的隔膜及承载头有效
| 申请号： | 201520670183.8 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN204954605U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 孙准皓 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 姜虎;陈英俊 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本实用新型涉及化学机械抛光装置用承载头及隔膜，上述化学机械抛光装置用承载头的隔膜及承载头包括：底板，由可挠性材质形成；侧面，在上述底板的边缘部弯折而成，并由可挠性材质形成；以及多个隔板，从上述底板的上表面延伸形成，在上述隔板中的包括位于最外侧的隔板的位置和在上述侧面之间的上述底板的边缘区域的底面形成有环形槽，从而借助环形槽阻断通过隔膜的侧面来进行加压的加压力向隔膜底板传递，并在环形槽的内侧区域中防止产生皱纹，由此，能够更加精致地控制向晶片的边缘导入的加压力。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 装置 承载 隔膜 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光装置用承载头的隔膜，其特征在于，包括：底板，由可挠性材质形成；侧面，在上述底板的边缘部弯折而成，并由可挠性材质形成，且形成有环形槽；多个隔板，从上述底板的上表面延伸形成。
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