[实用新型]检测装置有效
| 申请号： | 201520669198.2 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN205003048U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | S·洛伊;A·帕加尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/00 | 分类号： | G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;董典红 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及检测装置。该检测装置形成在具有第一面、第二面和腔的半导体材料的本体中。检测区域形成在腔中，并且气泵集成在本体中并且被配置成迫使气体朝向检测区域运动。光学型检测系统或者阿尔法粒子检测器至少部分地布置在检测区域中。根据本实用新型的实施例，可以实现增加检测效率并具有高灵敏度和短测量时间、小尺寸、低成本的集成检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种检测装置，其特征在于，包括：半导体材料的本体，具有第一面、第二面和腔；检测区域，在所述腔中；气泵，被集成在所述本体中，并被配置成迫使气体朝向所述检测区域运动；以及检测系统，至少部分地被布置在所述检测区域中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于意法半导体股份有限公司，未经意法半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520669198.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：土工布垂直渗透性能试验仪
- 下一篇：液压式胀破强度测试仪
