[实用新型]检测装置

权利要求书

1.一种检测装置，其特征在于，包括：

半导体材料的本体，具有第一面、第二面和腔；

检测区域，在所述腔中；

气泵，被集成在所述本体中，并被配置成迫使气体朝向所述检测区域运动；以及

检测系统，至少部分地被布置在所述检测区域中。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气泵是离子型的并且包括被布置在所述检测区域的第一侧上的电离结构和被布置在所述检测区域的第二侧上的吸引结构，所述电离结构和所述吸引结构被配置成电离进入所述腔的气体并且迫使所述气体通过所述检测区域。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述电离结构包括具有尖部的导电栅格，并且所述吸引结构包括可偏置导电栅格。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述气泵是热学型的并且包括被布置在所述检测区域的第一侧上的加热结构和被布置在所述检测区域的第二侧上的冷却结构，所述加热结构和所述冷却结构被配置成生成温度差和通过所述检测区域的气体运动。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述加热结构包括导电栅格，所述导电栅格被配置成通过焦耳效应生成热，并且所述冷却结构包括珀耳帖单元。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述腔是通腔并且在所述第一面和所述第二面之间延伸，并且所述气泵被配置成生成通过所述本体的气体运动。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述腔大体平行于所述第一面延伸并且在所述本体上具有入口开口和出口开口，并且所述气泵被配置成生成在大体平行的方向上通过所述本体的气体运动。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测系统包括光学系统并且包括被配置成生成光束的光源和被配置成检测散射光的光检测器，所述光学系统被配置成朝向所述检测区域引导所述光束。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述光源包括在邻近所述检测区域的第一位置中被集成在所述本体中的激光源，并且所述光检测器在邻近所述检测区域的第二位置中被集成在所述本体中。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述光学系统包括被布置在所述光源和所述检测区域之间的调束组件，所述调束组件包括多个透镜和承载所述多个透镜的疏水性支撑或可变疏水性支撑。

11.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述光源被配置成生成偏振激光。

12.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述光源被配置成生成偏振激光，并且所述光检测器包括偏振分光单元和两组多个光接收器元件，每组的多个光接收器元件被配置成检测具有单个相应偏振的光。

13.根据权利要求12所述的检测装置，其特征在于，所述偏振分光单元包括光栅耦合器。

14.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述检测区域具有倾斜壁，所述倾斜壁具有被配置成限定所述光束的光学路径的反射表面，所述光源和所述光检测器被布置在所述光学路径上的所述检测区域的面对位置中。

15.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测系统包括阿尔法粒子检测器。

16.根据权利要求15所述的检测装置，其特征在于，所述阿尔法粒子检测器包括半导体衬底，所述半导体衬底具有延伸通过所述腔并且包括敏感区域的阵列和邻近所述敏感区域的多个通孔的部分，其中吸引电极被形成在所述通孔的壁上。

17.根据权利要求15所述的检测装置，其特征在于，所述阿尔法粒子检测器被集成在界定所述腔的壁上的半导体材料的所述本体中。