[实用新型]MEMS麦克风及移动终端有效
| 申请号： | 201520620659.7 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN204948352U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及锚区，其中，所述振膜和锚区通过贯通区域隔开，所述振膜通过弹簧可移动耦接于所述锚区，所述背极板包括对应于振膜的第一区域、对应于锚区的第二区域以及对应于贯通区域的第三区域，其中，所述背极板第三区域包括多个第一部分，所述第一部分并且与所述第一区域和第二区域处在同一平面，在背极板受到冲击时提供应力释放通道，提高了麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 移动 终端 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及锚区，其中，所述振膜和锚区通过贯通区域隔开，所述振膜通过弹簧可移动耦接于所述锚区，所述背极板包括对应于振膜的第一区域、对应于锚区的第二区域以及对应于贯通区域的第三区域，其特征在于，所述背极板第三区域包括多个第一部分，所述第一部分并且与所述第一区域和第二区域处在同一平面。
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