[实用新型]一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装

摘要

一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，包括倒片工作台、分别设置在倒片工作台上方和下方的硅片推杆和滑轨，倒片工作台上表面的中部垂直于滑轨平行设置有两条凸起筋，凸起筋上分布有若干卡紧片盒的定位槽，硅片推杆通过在滑轨上滑动实现将硅片从一个片盒推到另一个片盒中。本实用新型通过在倒片工作台上设置两条带有定位槽的凸起筋完成对两个片盒的定位和卡紧，而且无论片盒H面、U面向下均可实现定位，从而完成片盒的简易定位，正反定位，使盒口对齐并通过硅片推杆完成倒片；通过在滑轨末端安装阻尼器，从而完全对硅片推杆在倒片末端时的减速，防止了硅片撞击片盒而产生损伤。

主权项

一种用于将硅片在片盒间正向或反向倒片的工装，其特征在于：包括一倒片工作台（1）、分别设置在倒片工作台（1）上方和下方的硅片推杆（5）和滑轨（7），其中，滑轨（7）上设置滑动设置有横梁（8），硅片推杆（5）通过一连接件（9）与横梁（8）连接，从而使硅片推杆（5）通过滑轨（7）实现在倒片工作台（1）上的往复运动；所述倒片工作台（1）上表面的中部垂直于滑轨（7）平行设置有两条凸起筋（2），从而将倒片工作台（1）分成左右两个放置片盒的台面，且两条凸起筋（2）上分布有若干卡紧片盒的定位槽（3），从而将放置在左右两台面的片盒对齐并卡紧。