[实用新型]一种硅片检测用固定器有效

专利信息
申请号: 201520581775.2 申请日: 2015-08-05
公开(公告)号: CN204954670U 公开(公告)日: 2016-01-13
发明(设计)人: 何晨旭;孔祥照;朱洁;朱姚培 申请(专利权)人: 江苏荣马新能源有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 张惠忠
地址: 223700 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种硅片检测用固定器,包括一个中空桶状的固定器外壳,在固定器外壳的一端设置有一个吸盘,吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接,在固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构,吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆,在吸盘的中部设置有一个拉杆,拉杆与转动杆之间柔性连接;本实用新型通过一个简易的吸盘机构,在对硅片进行转移的同时,可以尽可能的降低手套给硅片带来的污损,本实用新型只通过按压就可以实现对吸盘的固定,操作也更为简易。
搜索关键词: 一种 硅片 检测 固定器
【主权项】:
一种硅片检测用固定器,其特征是:包括一个中空桶状的固定器外壳,在所述固定器外壳的一端设置有一个吸盘,所述吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接,在所述固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构,吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆,在所述吸盘的中部设置有一个拉杆,所述拉杆与转动杆之间柔性连接。
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