[实用新型]一种硅片检测用固定器

权利要求书

1.一种硅片检测用固定器，其特征是：包括一个中空桶状的固定器外壳，在所述固定器外壳的一端设置有一个吸盘，所述吸盘的外壁与固定器外壳对应端部之间柔性连接，在所述固定器外壳的另一端设置有吸盘驱动机构，吸盘驱动机构包括一个固定在固定器外壳上的固定杆以及一个转动连接在固定杆与固定器外壳连接部位的转动杆，在所述吸盘的中部设置有一个拉杆，所述拉杆与转动杆之间柔性连接。

2.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述拉杆的端部设置有一个球头，在所述转动杆上设置有一个朝向固定器外壳内部延伸的延伸部，在所述延伸部上设置有一个与转动球头相配合的球碗。

3.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：所述吸盘外壁与固定器外壳之间通过一个连接胶圈连接。

4.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述吸盘的外缘侧对应吸盘内壁面的位置粘黏有一个柔性密封圈，柔性密封圈的硬度小于吸盘的硬度。

5.如权利要求1所述的一种硅片检测用固定器，其特征是：在所述转动杆与固定杆之间设置有舒张弹簧。