[实用新型]精密掩膜板有效
| 申请号： | 201520549771.6 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN204803392U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 范波涛;王水俊 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种精密掩膜板，分为图案区和应力缓冲区，所述应力缓冲区的两面都设有半刻蚀的缓冲图案。上述精密掩膜板，通过在应力缓冲区的两面都形成缓冲图案，可以使精密掩膜板的应力中性层两侧受力平衡，减少翘曲和起伏，可提高张网效率。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种精密掩膜板，分为图案区和应力缓冲区，其特征在于，所述应力缓冲区的两面都设有半刻蚀的缓冲图案。
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