[实用新型]精密掩膜板有效
| 申请号： | 201520549771.6 | 申请日： | 2015-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN204803392U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 范波涛;王水俊 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 精密 掩膜板 | ||
【权利要求书】：
1.一种精密掩膜板，分为图案区和应力缓冲区，其特征在于，所述应力缓冲区的两面都设有半刻蚀的缓冲图案。
2.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述应力缓冲区包括位于图案区之间的第一应力缓冲区。
3.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述应力缓冲区包括位于所述精密掩膜板两端的第二应力缓冲区。
4.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述精密掩膜板还包括位于两端的固定区。
5.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述应力缓冲区两面的缓冲图案相同，且对应设置。
6.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述应力缓冲区两面的缓冲图案相同，且错位相邻设置。
7.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述缓冲图案的刻蚀深度小于精密掩膜板厚度的1/4。
8.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，两面的缓冲图案的刻蚀深度之和小于精密掩膜板厚度的1/2。
9.根据权利要求1所述的精密掩膜板，其特征在于，所述缓冲图案为沿拉伸方向依次排列的两个以上的矩形凹槽。
10.根据权利要求9所述的精密掩膜板，其特征在于，每个矩形凹槽在与拉伸方向垂直的方向上还分成两段。
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