[实用新型]一种用于测量激光等离子体溅射斑的装置有效
| 申请号： | 201520526681.5 | 申请日： | 2015-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN204882355U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 梁田;郑志远;褚雕心;张思齐;张自力;董爱国;高禄;高华 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所 11303 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 100000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于测量激光等离子体溅射斑的装置，包括依次设置的光源、扩束镜、光学玻璃和照相装置，所述光源发出的光束经扩束镜后垂直射向所述光学玻璃，所述光学玻璃为可活动设置，用于收集激光等离子体产生的溅射液体，所述照相装置用于拍摄所述光学玻璃上由所述溅射液体形成的溅射斑图像。所述光源为氦氖光光源。所述光学玻璃为K9玻璃片。本实用新型通过扩束镜将光源发出的光束形成平行的探测光垂直射向已分布有溅射液体的光学玻璃上，并利用液体折射率与玻璃折射率的不同，由照相装置完成溅射斑图像的拍摄。该测量装置设备简单、操作简便、数据图像完备准确、测量精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 激光 等离子体 溅射 装置 | ||
【主权项】：
一种用于测量激光等离子体溅射斑的装置，其特征在于，包括依次设置的光源、扩束镜、光学玻璃和照相装置，所述光源发出的光束经扩束镜后垂直射向所述光学玻璃，所述光学玻璃为可活动设置，用于收集激光等离子体产生的溅射液体，所述照相装置用于拍摄所述光学玻璃上由所述溅射液体形成的溅射斑图像。
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