[实用新型]一种用于测量激光等离子体溅射斑的装置有效
| 申请号： | 201520526681.5 | 申请日： | 2015-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN204882355U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 梁田;郑志远;褚雕心;张思齐;张自力;董爱国;高禄;高华 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京方韬法业专利代理事务所 11303 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 100000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 测量 激光 等离子体 溅射 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于测量激光等离子体溅射斑的装置，其特征在于，包括依次设置的光源、扩束镜、光学玻璃和照相装置，所述光源发出的光束经扩束镜后垂直射向所述光学玻璃，所述光学玻璃为可活动设置，用于收集激光等离子体产生的溅射液体，所述照相装置用于拍摄所述光学玻璃上由所述溅射液体形成的溅射斑图像。
2.根据权利要求1所述的用于测量激光等离子体溅射斑的装置，其特征在于，所述光源为氦氖光光源。
3.根据权利要求1或2所述的用于测量激光等离子体溅射斑的装置，其特征在于，所述光学玻璃为K9玻璃片。
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