[实用新型]一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置有效

专利信息
申请号: 201520509069.7 申请日: 2015-07-15
公开(公告)号: CN204874723U 公开(公告)日: 2015-12-16
发明(设计)人: 郭庆;李险峰;臧晓良;黄琨;凌晨 申请(专利权)人: 中建材光电装备(太仓)有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 代理人: 马明渡;徐丹
地址: 215434 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为受热面(3);在铝型材主体(11)的一端封设有一第一端板(12),该第一端板(12)内设通道将所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)连通。本实用新型制作成本低、质轻,为检修、安装、搬运等提供了方便,进而提高了生产效率;并且,因铝型材主体是一次成型,可以有效保证表面的平整性,从而保证该装置受热面与其他零部件完全贴合,最大程度地起到冷却效果。
搜索关键词: 一种 真空镀膜 空腔 底部 冷却 装置
【主权项】:
一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根平行布置的冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有相互平行的沿铝型材主体(11)的长度方向的第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为受热面(3);在所述铝型材主体(11)的一端封设有一第一端板(12),该第一端板(12)内设通道将所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中建材光电装备(太仓)有限公司,未经中建材光电装备(太仓)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201520509069.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top