[实用新型]一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置有效
申请号: | 201520509069.7 | 申请日: | 2015-07-15 |
公开(公告)号: | CN204874723U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 郭庆;李险峰;臧晓良;黄琨;凌晨 | 申请(专利权)人: | 中建材光电装备(太仓)有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 马明渡;徐丹 |
地址: | 215434 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为受热面(3);在铝型材主体(11)的一端封设有一第一端板(12),该第一端板(12)内设通道将所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)连通。本实用新型制作成本低、质轻,为检修、安装、搬运等提供了方便,进而提高了生产效率;并且,因铝型材主体是一次成型,可以有效保证表面的平整性,从而保证该装置受热面与其他零部件完全贴合,最大程度地起到冷却效果。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 空腔 底部 冷却 装置 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置,其特征在于:包括两根平行布置的冷却单元(1),每个冷却单元(1)包括一拉制工艺制作的铝型材主体(11),该铝型材主体(11)内设有相互平行的沿铝型材主体(11)的长度方向的第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112),铝型材主体(11)的上表面作为受热面(3);在所述铝型材主体(11)的一端封设有一第一端板(12),该第一端板(12)内设通道将所述第一冷却水通道(111)和第二冷却水通道(112)连通。
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