[实用新型]一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置有效
| 申请号： | 201520509069.7 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN204874723U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 郭庆;李险峰;臧晓良;黄琨;凌晨 | 申请（专利权）人： | 中建材光电装备（太仓）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;徐丹 |
| 地址： | 215434 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 空腔 底部 冷却 装置 | ||
1.一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：包括两根平行布置的冷却单元（1），每个冷却单元（1）包括一拉制工艺制作的铝型材主体（11），该铝型材主体（11）内设有相互平行的沿铝型材主体（11）的长度方向的第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112），铝型材主体（11）的上表面作为受热面（3）；在所述铝型材主体（11）的一端封设有一第一端板（12），该第一端板（12）内设通道将所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）连通。
2.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：所述铝型材主体（11）的受热面（3）向宽度方向的两侧延伸，使铝型材主体（11）的截面为上大下小，且所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）靠受热面（3）设置。
3.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：所述底部冷却装置还包括若干底板（2），该底板（2）连接在两根冷却单元（1）的底部间。
4.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：所述冷却单元（1）还包括一第二端板（13），该第二端板（13）相对于第一端板（12）设于所述铝型材主体（11）的另一端，所述第二端板（13）上各对应第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）设有与之相通的管接头（131）。
5.根据权利要求1所述一种真空镀膜线真空腔室的底部冷却装置，其特征在于：所述铝型材主体（11）的受热面（3）上均匀开设有若干个腰型孔（113），该腰型孔（113）位于所述第一冷却水通道（111）和第二冷却水通道（112）之间的位置。
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