[实用新型]大口径高真空油扩散泵有效
| 申请号： | 201520504889.7 | 申请日： | 2015-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN204783872U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 林森;林峰;周丹 | 申请（专利权）人： | 辽宁真龙真空设备制造有限公司 |
| 主分类号： | F04F9/00 | 分类号： | F04F9/00;F04F9/02 |
| 代理公司： | 沈阳圣群专利事务所(普通合伙) 21221 | 代理人： | 张立新 |
| 地址： | 110014 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。本实用新型具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 真空 扩散 | ||
【主权项】：
大口径高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其特征在于加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。
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