[实用新型]大口径高真空油扩散泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散泵，特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵，它适合应用于真空炉、真空镀膜机。

背景技术

高真空油扩散泵属于射流真空泵的一种，它工作在高真空区域，以低压高速油蒸汽作为工作介质。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口排除的过程。它由泵体、泵芯组件、加热器、挡油装置等组件组成。泵体大都采用碳钢或不锈钢制造；泵芯组件是由喷嘴及导流管组成，泵芯组件是高真空油扩散泵的关键部件，材料主要有铝或不锈钢；加热器由金属外壳、高温耐热陶瓷盘及加热组件组成；排气口处装有挡油装置，防止油雾进入真空设备，降低了对真空设备的污染。油扩散泵除了在一般工业中有广泛应用外，特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如：真空冶金，真空热处理设备及真空镀膜的设备等。

传统的高真空油扩散泵根据泵体的形状主要分为两种，为直腔和凸腔两种，其口径在100-1000毫米之间，由于加工难度及整体结构的限制，使得目前市面上没有口径大于1000毫米的更大口径的高真空油扩散泵。由于传统技术结构的高真空油扩散泵无法生产更大口径的真空泵，使其应用领域受到限制。传统的高真空油扩散泵的抽速小，原有抽气速率最大仅能达到32000L/s，极限真空低，极限真空度最高为7×10^-5Pa，达到极限真空时间长，返油率高，耗电量大。

发明内容

本实用新型就是为了解决上述技术问题，而提供的一种大口径高真空油扩散泵，它具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。

为了达到上述目的，本实用新型是通过下述技术方案试下的：

高真空油扩散泵，它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件，其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置，泵体采用了凸腔结构，泵芯组件垂直安装在泵体内的中心油槽内，泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构，各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴，喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部，一级导流管的高度比二级导流管高，二级导流管的高度比三级导流管高。

上述泵体的凸腔的中间体直径尺寸是进气口径尺寸的1.25倍，泵体的内外焊缝处采用两面焊接结构，泵体进气口径处的法兰采用碳钢整体结构。

上述的泵体外设有全水套冷却外套，冷却外套为水套式冷却外套或水冷却铜管式冷却外套。

上述的水套式冷却外套的水套壁采用为不锈钢板，内部由圆钢缠绕泵体外部形成水流导向结构；水冷却铜管式冷却外套的结构为冷却铜管缠绕泵体外壁，冷却水在冷却铜管内流动，冷却铜管采用紫铜管，冷却铜管与泵体外壁接触处采用铜焊点焊，然后采用锡焊满焊结构。

上述的泵芯组件的上部通过支撑架组件与泵体内壁支撑紧固，支撑架组件结构如下：支撑套焊接在位于中间的支撑环上，支撑杆通过螺纹与支撑套连接。

上述的泵体的下部设有观察窗和测温电阻，其中观察窗由不锈钢制造，观察窗结构为是第一无氧铜密封垫安装于小法兰口处，小法兰与小接管焊接，小法兰上部安装盲板法兰并用不锈钢六角头螺、螺母、平垫圈连接紧固件，第二无氧铜密封垫安装在主法兰上，主管法兰与主接管焊接，第二无氧铜密封垫与观察窗法兰通过不锈钢六角头螺栓、螺母、平垫圈连接紧固。

上述的泵芯组件的伞帽形扩散喷嘴的喷射角度为55-65度，喷射喷嘴的喷射角度为11-14度。

上述的泵芯组件的具体结构为：一级导流管下部和一级导流管上部连接紧固；三级导流管和二级导流管通过三级支撑套连接在一起；二级导流管与一级导流管上部用二级支撑套安装连接；三级间隙垫安装在三级导流管上部；三级喷嘴帽放置在三级导流管上；二级间隙垫安装在二级导流管上；二级喷嘴帽与一级导流管上部接触连接；一级间隙垫放置在一级喷嘴座的中间位置；一级喷嘴帽通过螺栓与一级喷嘴座安装于一体，一级喷嘴座与一级导流管上部通过螺纹旋拧结构安装在一级导流管上。

上述的加热器的结构如下：金属外壳的底部安装有万向脚轮，金属外壳内由下自上依此设置有炉底、耐热绝缘板、耐热陶瓷盘、镍铬合金加热丝。

上述的挡油装置垂直安装在泵体的排气口处，挡油装置它是由位于中心的挡油杆及挡油杆上由下自上间隔、交错排列的半圆形挡板构成。

由于采用上述技术方案，使得本实用新型具有如下优点和效果：